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【48812】重磅!ASML的EUV光刻机中全球仅有激光器供货商落户深圳

来源:爱游戏体育app最新版下载    发布时间:2024-04-22 21:29:17
众所周知,现在全球仅有一家厂商,能够出产EUV光刻机,它便是荷兰的ASML。 而之所以全球仅此一家,是因为ASML将许多要害的厂商捆绑在了一同,比方德国光学公司蔡司(Zeiss),再比方
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  众所周知,现在全球仅有一家厂商,能够出产EUV光刻机,它便是荷兰的ASML。

  而之所以全球仅此一家,是因为ASML将许多要害的厂商捆绑在了一同,比方德国光学公司蔡司(Zeiss),再比方美国的Cymer,再比方德国的通快集团(TRUMPF)等。

  ASML通过出资、收买、占股,树立研究中心等等方法,将这些厂商绑在了自己的战车上,而这些厂商,或许是全球仅有能够出产这一些产品的厂商,所以终究全球仅ASML一家能够出产EUV光刻机。

  不过,近来,ASML的一家要害供应链,跑到我国深圳来建厂了,其深圳子公司落户宝安中德(欧)工业示范园。

  这家厂商便是德国的通快集团(TRUMPF),它是ASML的EUV光刻机中,全球仅有一家激光源供货商。

  TRUMPF的产品在EUV光刻机中,有多重要?先听我说一下EUV光刻机的原理,咱们就懂了。

  EUV光刻机的原理,说起来很简单,中心是三大体系,EUV紫外线光源体系、物镜体系、工作台体系。

  详细的进程是使用激光器激宣布13.5nm波长的极紫外线,然后通过矫正后构成一束可控的光,再将这一束光投射到光掩膜台后,再通过物镜投射到曝光台,最终在涂了光刻胶的硅晶圆上蚀刻出电路。

  其间EUV紫外线光源体系是怎么得到的,是用30千瓦功率的二氧化碳激光器炮击锡(Sn)金属液滴,将其蒸发成等离子体,最终取得13.5nm波长的EUV光线。

  别小看了这个二氧化碳激光器,它有457,329个部件,体系内的线千克,是EUV光刻机中,最重要的中心元件之一。

  现在TRUMPF跑到我国来建厂,目的很明显,那便是看好我国的激光商场,乃至更久远一点来看,看好我国光刻机商场,未来有或许和我国协作造出EUV光刻机。

  事实上,现在现已不止一家ASML的供应链跑到我国来建厂了,之前还有KMWE等厂商,也到我国来建厂了。

  依照现在这种趋势,咱们咱们能够达观的估计一下,说不定要不了多久,我国的光刻机技能会大进一步,乃至量产出EUV光刻机,也能等待一下的,你觉得呢?

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