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行业资讯


太阳能电池片科普系列——(镀膜)PECVD篇

阅读量: 1619次 发布时间:2024-03-06 19:46:57

  PECVD( Plasma  Enhanced  Chemical Vapor  Deposition)等离子增强化学气相沉积,等离子体是物质分子热运动加剧,相互间的碰撞会导致气体分子产生电离,物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

  据测算,光在硅表面的反射损失率高达35%左右,减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率,有助于提高光生电流密度,进而提高转换效率,同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率,减小了暗电流,提升了开路电压,提高了光电转换效率;在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键,游离出来的H逐步加强了对电池的钝化。

  由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷,导致硅中少子寿命及扩散长度降低,因此导致电池的转换效率下降,H能与硅中的缺陷或杂质进行反应,从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

  PECVD  系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下,等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。能够准确的通过改变硅烷对氨气的比率,来得到不同的折射指数。在沉积工艺中,伴有大量的氢原子和氢离子的产生,使得晶片的氢钝化性十分良好。

  在线摄氏度的环境和温度下,通过对石墨舟的导电,使硅片的表面镀上一层SixNy。

  Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化,一般理想的厚度是7580nm之间,表现为深蓝色,Si3N4膜的折射率在2.02.5之间效果最好,通常用酒精来测其折射率。

  优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能(厚度折射率匹配)、低温工艺(大大降低成本)、生成的H离子对硅片表面钝化.

  膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印镀膜不良,应及时挑出

  产线最常见的表面发白、色差、白点,其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致,可通过调节膜沉积时间来调整;色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致;白斑主要由于前道小黑点导致。

  PECVD是太阳能电池片中较为重要的工序,也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标,PECVD工序一般较忙,每一批电池片都需要监测,且镀膜炉管较多,每一管一般几百片(视设备而定),更改工艺参数后,验证周期较长。镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术,太阳能电池的效率提升能够最终靠镀膜技术的提升来实现,太阳能电池领域的科学家们也乐此不疲,未来太阳能电池表面技术或许有可能成为太阳能电池理论效率的突破口。

  连载文章欢迎查看更加多太阳能电池片科普系列:发电原理篇流程(电池片)篇工艺流程(硅片)篇制绒篇扩散篇刻蚀篇(镀膜)PECVD篇丝网印刷篇烧结篇组件封装篇多晶硅铸锭篇

  特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更加多信息而非盈利之目的,同时并不意味着赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权属于原本的作者所有,若有侵权,请联系我们删除。

  2024年3月5日,爱康科技发布关于变更董事、监事及聘任高级管理人员的公告。公告显示,爱康科技监事会于2024年3月1日收到公司监事田野先生的书面辞职报告。田野先生因工作变动申请辞去公司监事职务。田野先生辞去上述职务并生效后,公司将聘任其为公司董事、高级副总裁。同时,同意提名苏雅亭先生为公司

  在光伏领域中,N型技术的快速崛起成为当前瞩目的焦点,随着N型光伏技术的一直在优化,我们正迎来一个低碳排、高效能的时代。由于传统的P型光伏技术因在效率和制程上的限制而逐渐被淘汰,推动了业界转向更先进的技术,拥有更高效率的N型产品渗透率正急速提升中。其中,TOPCon技术的优点是其能够更有效地

  2月29日,国家统计局发布《中华人民共和国2023年国民经济与社会持续健康发展统计公报》披露了多项电力数据,包括电力装机、能源消费等。多个方面数据显示,2023年,太阳能电池(光伏电池)产量5.4亿千瓦,增长54.0%;2023年,水电、核电、风电、太阳能发电等清洁能源发电量31906亿千瓦时,比上年增长7.8%。2023年末全国

  2月28日,石柱土家族自治县人民政府关于印发《石柱县工业园区产业高质量发展规划(2023—2027年)》的通知,通知指出,抓绿色低碳发展机遇,围绕页岩气、氢能源、风力光伏发电等,发展新能源配套装备。重点发展叶片、机舱罩、齿轮箱、塔筒等风力发电装备;光伏支架、光伏电池、光伏板等光伏发电装备。原文如

  抢占开门红,追光启新程!2月25日,棒杰江山年产8GWN型高效电池片及16GW大尺寸光伏硅片切片项目厂房及配套设施建设工程正式开工。江山市委统战部常务副部长兼棒杰项目指挥部办公室主任吴松高,江山市经济开发区党工委副书记兼主任徐正贵,江山经济开发区建设投资集团有限公司董事长兼总经理吴小正、副

  日前,道琼斯旗下公司OPIS介绍了全球光伏行业的主要价格趋势。太阳能电池FOB中国价格保持不变,由于3月份交付订单的价格谈判仍在进行中,因此没有进行太多实际交易。单晶PERCM10和G12电池片价格持平于每瓦0.0482美元和每瓦0.0473美元,而TOPConM10电池片价格周环比持平于每瓦0.0584美元。据一位市场参

  2月25日,爱旭股份发布了重要的公告称,公司拟投资建设济南一期年产10GW高效晶硅太阳能电池及组件项目。该项目为公司于2023年4月与济南市政府签订的《爱旭太阳能高效电池组件项目战略合作协议》中的首期项目,预计总投资金额99.78亿元,计划建设并生产基于ABC技术的相关电池及组件,并以组件为终端产品对外出售

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  近日,隆基绿能与江苏科技大学、澳大利亚科廷大学三方合作,在国际上首次制造出高柔韧性、高功率重量比的晶硅异质结太阳能电池,相关研究成果以“Flexiblesiliconsolarcellswithhighpower-to-weightratios”为题发表在国际期刊《Nature》(自然)上。晶硅太阳能电池是目前最为成熟、应用最广的光伏发电

  26.36%、26.7%、33.9%……这不单单是数字,更是光伏电池技术在2023年一次次的重大效率突破,充分体现了中国光伏技术的底蕴与实力。据北极星跟踪统计,2023年,光伏电池效率刷新世界/行业记录共计12次,尤其在下半年,隆基绿能、中来股份等各家光伏企业在新一代电池技术上不断发力、不断突破。1、26.7%2

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  近日,塔塔化学公司宣布与莫纳什大学-印度理工学院孟买分校(IITB)的联合研究学院达成合作,开展钙钛矿/清洁能源领域的开创性研究,旨在推进可持续能源转型解决方案并促进清洁能源技术创新。根据该协议,塔塔化学公司将支持由该联合研究学院领导的下一代技术探讨研究,着重关注钙钛矿材料在清洁能源领域的变

  2月20日,广东省发展和改革委员会广东省科学技术厅广东省工业和信息化厅发布关于印发《广东省培育发展未来绿色低碳产业集群行动计划》的通知。文件提出,抢抓技术迭代换挡新机遇,加快新一代高效光伏技术创新和装备制造创新,促进光伏产业升级。重点推进背接触电池(XBC)、隧穿氧化层钝化接触电池(TO

  一直以来,组件业务被“系统集成”身份压得喘不过气,材料成本占比高/毛利率较低、流动资金大、设备支出低/技术观感不强,是组件业务抬不起头的三座大山。但是,没有千篇一律、一成不变的产业分析框架,光伏行业有其特殊性,组件环节尤为如此。实际上,光伏行业真正的“系统集成”应该是光伏电站开发的

  北极星太阳能光伏网获悉,2月18日,广东省科技厅印发《广东省培育未来材料产业集群行动计划》。《计划》提出,面向清洁能源发电、新能源汽车、大规模储能、智能电网等领域重大需求,重点发展风电、光伏、核电、新型动力和储能电池、氢能等新能源领域未来材料前瞻技术和应用关键技术。使用先进数字孪生

  1月27日下午,中国科学院青岛生物能源与过程研究所(山东能源研究院)与山东能源集团、昆山协鑫光电材料有限公司战略合作协议签署暨“钙钛矿光伏技术创新中心”揭牌仪式在崂山区成功举办,意味着纳入山东省产业布局战略的钙钛矿产业领域首个技术创新中心落户崂山区。山东省科技厅厅长孙海生、青岛市科

  行业供应过剩发酵企业盈利大幅萎缩2024年的到来,在光伏制造业却鲜少看到人们在新年欢喜迎春的朝气,随着各环节供应链在2023年加速产能的投放,行业供应面临严重超过标准,其中以电池环节更甚,技术的迭代下,既有的506GWPERC电池产能迭加以TOPCon为首的670GWN型高效电池产能,2023年末总产能达到1,100GW以

  1月24日,安徽省经济和信息化厅关于征集制造业重点领域补短板产品和关键技术攻关指导目录的通知,通知指出,重点围绕我省新能源汽车、先进光伏和新型储能、集成电路、新型显示、高端装备、新材料等新兴起的产业和量子信息、元宇宙、脑机接口、人形机器人、通用AI、生物制造等未来产业,以及关键零部

  光伏行业情势急转。主旋律正从需求端“星辰大海”转向供给端“群雄逐鹿”,主要矛盾正从行业增长转向彼此竞争,投资机会正从系统Beta转向个体Alpha……在行业转变的关键时点,晶硅产业链上的巨头们,暗潮涌动,姿势各异,表现了各自对未来发展的不同理解和态度,也将深刻影响未来的产业格局。01技术路

  过去几年,新能源行业大红大紫,新兴技术眼花缭乱,从光伏行业的HJT、TOPCon、BC、钙钛矿,到锂电及储能行业的钠电、固态、液流、复合集流体、磷酸锰铁锂,等等。但是,站在这一轮新能源热潮回落的敏感节点,目前线”、获得产业化验证并实现大规模市场渗透的技术迭代非常少,N型TOPCon算

  在光伏产业链中,电池环节是驱动光伏技术进步的核心,也是促进行业持续降本增效的动力。纵观十年来的发展,不论是p型时代的一路赶超,还是n型时代的TOPCon、HJT和XBC百花齐放,光伏电池的技术迭代历程,同样是电池企业的发展史。台企的黄金时代在2015年以前,台湾太阳能电池企业“风光无两”,昱晶、茂

  3月5日,河北省机关事务管理局发布《关于2024年河北省公共机构能源资源节约和生态环境保护工作安排的通知》。文件指出,优化公共机构用能结构,减少煤炭等化石燃料消费,推进终端用能电气化,因地制宜推广太阳能、地热能、生物质能等可再次生产的能源,扩大“绿电”利用规模,研究推进分布式光伏、光热建设相

  3月6日,金开新能源发布了重要的公告称,近期,金开新能源股份有限公司(以下简称“公司”)全资子公司金开新能科技有限公司与百信信息技术有限公司(以下简称“百信信息”)签署《战略合作框架协议》,双方本着诚信合作、优势互补、资源共享、平等互利的原则,拟于绿色算力中心、绿电及产业链整合方面构建全面

  3月4日,来宾市生态环境局关于印发《来宾市优化环境影响评价工作服务壮大实体经济若干措施》的通知,通知指出,优化项目环境影响评价审批改革。同一市辖区或县(市、区)编制的等级公路、城市道路、光伏发电、陆上风力发电、生活垃圾转运站、污水处理厂等项目的环境影响评价报告表可予以“打捆”环评审批

  时光壮阔落笔,岁月浩荡成歌。2023年作为全面贯彻党的二十大精神的开局之年,又是我国能源电力发展历史上又一个大发展、大跨越的极不平凡一年。在“双碳”目标的战略引领下,我国能源电力系统的清洁转型之路加速迈进,交上了一份亮点纷呈的“成绩单”,接连迈上“三大”新台阶:2023年我国新增电力装机

  3月5日上午9时,十四届全国人大二次会议在人民大会堂举行开幕会。国务院总理李强代表国务院,向十四届全国人大二次会议作政府工作报告。北极星将关于能源电力相关联的内容整理如下:一、过去一年工作回顾——生态环境质量稳中改善。污染防治攻坚战深入开展,主要污染物排放量继续下降,地表水和近岸海域水

  3月5日上午9时,十四届全国人大二次会议在北京人民大会堂开幕,国务院总理李强作政府工作报告。关于能源电力等相关联的内容,梳理要点如下:过去一年工作回顾——现代化产业体系建设取得重要进展。传统产业加快转变发展方式与经济转型,战略性新兴起的产业蓬勃发展,未来产业有序布局,先进制造业和现代服务业深层次地融合,一批

  印度内阁批准一项名为PM-SuryaGhar:MuftBijliYojana的屋顶太阳能计划。该计划由印度总理莫迪于今年2月宣布,预计将提供总计7500亿印度卢比(约合90亿美元)的补贴,以实现30GW的屋顶太阳能装机容量。根据该计划,每月将为1000万个家庭提供多达300度的免费电力。具体来说,政府将为2kW系统提供60%系统成

  2024年两会时刻再次开启,全国政协十四届二次会议已于3月4日开幕,十四届全国人大二次会议将于5日正式开幕。北极星梳理发现,能源、电力领域人大代表、政协委员共169名,其中光伏界共有10人。(注:排名不分先后)部分代表委员相关建议及提案见下:刘汉元:建议加快制定电动汽车参与电网储能的相关政策

  3月4日,浙江温州市人民政府办公室关于印发温州市逐步推动经济高水平发展若干政策的通知。通知提到,建设美丽乡村。适度超前建设农村电网,落实国家充电基础设施奖励资金和省级新能源汽车推广应用奖补资金,制定市级相应奖补政策,力争乡村地区累计建成公共充电桩5200个以上,其中年度新建600个以上

  智利《三点钟报》2月22日报道,2024年伊始,已有20个光伏发电项目向智环评局(SEA)提交环评申请,占总申请项目数量的四分之一,总投资额达20.23亿美元,包含4个投资额超过2亿美元的大型光伏项目。其中,投资额最高的分别是CarolinaSola和DonPatricio光伏园区,预计投资额分别为3.8亿美元和3.68亿美元

  3月4日,全国新能源消纳监测预警中心发布2024年1月各省级区域新能源并网消纳情况,光伏发电利用率98%,风电98.3%。原文如下:根据《国家能源局关于2021年风电、光伏发电开发建设有关事项的通知》(国能发新能〔2021〕25号),为引导新能源理性投资、有序建设,现将2024年1月各省级区域新能源并网消纳情

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